Η ανάπτυξη της τρισδιάστατης μηχανής μέτρησης συντεταγμένων (CMM) ξεκίνησε στα μέσα του 20ου αιώνα με την εισαγωγή των χειροκίνητων CMM.

Αυτά τα χειροκίνητα μηχανήματα χρησιμοποιούσαν ανιχνευτές για τη μέτρηση φυσικών αντικειμένων και την καταγραφή των συντεταγμένων των σημείων με το χέρι. Με την πρόοδο της τεχνολογίας των υπολογιστών, τα CMM εξελίχθηκαν σε συσκευές με τη βοήθεια υπολογιστή που αυτοματοποιούν τη διαδικασία μέτρησης, βελτιώνοντας την ακρίβεια και την αποτελεσματικότητα.

Σήμερα, τα σύγχρονα τρισδιάστατα CMM είναι εξοπλισμένα με προηγμένα χαρακτηριστικά λογισμικού και υλικού, όπως συστήματα αισθητήρα αφής, σαρωτές λέιζερ και λογισμικό για ανάλυση δεδομένων, μοντελοποίηση και αντίστροφη μηχανική. Τα τρισδιάστατα CMM χρησιμοποιούνται ευρέως σε διάφορους κλάδους όπως η αεροδιαστημική, η αυτοκινητοβιομηχανία και η κατασκευή για ποιοτικό έλεγχο, επιθεώρηση και διαδικασίες παραγωγής.