0.05ppm ψήφισμα συστημάτων 1nm μέτρησης παρεμβαλλόμετρων λέιζερ

1. Μέθοδος μέτρησης: ενιαία συχνότητα

1. Ατμοσφαιρικός αισθητήρας θερμοκρασίας: ±0.1℃ (0-40) ℃, ψήφισμα: 0.01℃

2. Ακρίβεια συχνότητας λέιζερ: 0.05ppm

2. Υλικός αισθητήρας θερμοκρασίας: ±0.1℃ (0-40) ℃, ψήφισμα: 0.01℃

3. Δυναμικός συλλάβετε το ποσοστό: 50kHz

3. Ατμοσφαιρικός αισθητήρας υγρασίας: ±5% (0-95%)

4. Χρόνος προθέρμανσης: περίπου 6 λ.

4. Ατμοσφαιρικός αισθητήρας πίεσης: ±0.1kPa (65~115) kPa

5. Λειτουργούσα θερμοκρασία: (0-40) ℃

6. Θερμοκρασία περιβάλλοντος: (0-40) ℃, υγρασία: 0-95%

7. Θερμοκρασία αποθήκευσης: -20℃-70℃

1. Μέτρηση της σειράς: (0-80) μ

1. Αξονική σειρά: (0-15) μ

2. Μέτρηση της ακρίβειας: 0.5ppm (0-40) ℃

2. Μέτρηση της σειράς: ±10°

3. Μέτρηση του ψηφίσματος: 1nm

3. Ακρίβεια: ± (0.02%R+0.1+0.24M) ″ (το Ρ δείχνει την αξία, μονάδα: ″ Το Μ είναι μετρημένο μήκος στο μ)

4. Μέγιστο που μετρά την ταχύτητα: 4m/s

4. Μέτρηση του ψηφίσματος: 0,1 ″

1. Αξονική σειρά: (0-15) μ

2. Λειότητα που μετρά τη σειρά: ±1.5 χιλ.

3. Ακρίβεια: ± (0.2%R+0.02M2) μm (το Ρ δείχνει την αξία σε μm Το Μ είναι μετρημένο μήκος στο μ)

4. Μέγεθος υποστρωμάτων: 180mm διευθετήσιμο, 360mm διευθετήσιμα

5. Μέτρηση του ψηφίσματος: 0.1μm

Σύντομη ευθύτητα

(0.1-4) μ

±3.0mm

± (0.5+0.25%R+0.15M2) μm

0.01μm

Μακροχρόνια ευθύτητα

(1-20) μ

±3.0mm

± (5.0+2.5%R+0.015M2) μm

0.01μm

Σημείωση: Το Ρ δείχνει την αξία σε μm Το Μ είναι μετρημένο μήκος στους μετρητές

Σύντομη ευθύτητα

(0.1-3) μ

±3.0mm

± (2.5+0.25%R+0.8M) μm/m

0.01μm

Μακροχρόνια ευθύτητα

(1-15) μ

±3.0mm

± (2.5+2.5%R+0.08M) μm/m

0.01μm

Σημείωση: Το Ρ δείχνει την αξία σε μm Το Μ είναι μετρημένο μήκος στους μετρητές